5-άξονες αλεσμένοι κεραμικοί μονωτές για εξοπλισμό ημιαγωγών και καθαρούς χώρους

Στον κόσμο των υψηλών διακυβευμάτων της κατασκευής ημιαγωγών και των περιβαλλόντων καθαρού χώρου, κάθε εξάρτημα πρέπει να προσφέρει άψογη απόδοση.PFT, ειδικευόμαστε στις χειροτεχνίεςΜονωτήρες κεραμικής κατεργασίας 5 αξόνωνπου επαναπροσδιορίζουν την ακρίβεια και την αξιοπιστία. Με πάνω από 20+Με χρόνια εμπειρίας, οι λύσεις μας έχουν σχεδιαστεί για να ανταποκρίνονται στις αυστηρές απαιτήσεις του ημιαγωγικού εξοπλισμού, εξασφαλίζοντας θερμική σταθερότητα, ηλεκτρική μόνωση και λειτουργία χωρίς ρύπανση σε εξαιρετικά ευαίσθητα περιβάλλοντα.

Γιατί να επιλέξετε τους 5-αξονικούς κεραμικούς μονωτές μας;

1.Προηγμένες Δυνατότητες Παραγωγής

Οι εγκαταστάσεις μας είναι εξοπλισμένες μευπερσύγχρονες φρέζες CNC 5 αξόνων, επιτρέποντας ακρίβεια επιπέδου μικρών στη διαμόρφωση προηγμένων κεραμικών όπως η αλουμίνα (Al₂O₃), το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) και το νιτρίδιο του αργιλίου (AlN). Σε αντίθεση με τις συμβατικές μεθόδους, η κατεργασία 5 αξόνων επιτρέπει πολύπλοκες γεωμετρίες - κρίσιμες για εξαρτήματα όπως πείροι ανύψωσης πλακιδίων, εξαρτήματα θαλάμου εναπόθεσης και μονωτές ανθεκτικοί στο πλάσμα.

Βασικά χαρακτηριστικά:

•Ακρίβεια:Ανοχή ±0,005 mm για απρόσκοπτη ενσωμάτωση σε εργαλεία λιθογραφίας ASML ή σε συστήματα χάραξης Lam Research.
•Ευελιξία υλικού:Βελτιστοποιημένο για αλουμίνα 99,8%, SiC υψηλής καθαρότητας και άλλα προηγμένα κεραμικά.
•Φινίρισμα επιφάνειας:Ra <0,2μm για ελαχιστοποίηση της παραγωγής σωματιδίων σε καθαρούς χώρους ISO Κλάσης 1.

2.Ιδιόκτητη Μηχανική Διεργασιών

Οι μηχανικοί μας έχουν αναπτύξειέλεγχοι διεργασιών κλειστού βρόχουπου προσαρμόζονται στην ευθραυστότητα των κεραμικών κατά την κατεργασία. Συνδυάζοντας τεχνικές ξηρής άλεσης με απόσβεση κραδασμών σε πραγματικό χρόνο, επιτυγχάνουμε επιφάνειες χωρίς ρωγμές και παρατεταμένη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων - ακόμη και υπό ακραίες θερμικές συνθήκες (έως 1.600°C).

Καινοτομία στο επίκεντρο:

•Πρωτόκολλα ανακούφισης από το στρες:Ελαχιστοποίηση μικρορωγμών σε μονωτές AlN για εφαρμογές καρδιαγγειακής φόρτισης.
•Επεξεργασίες μετά την κατεργασία:Η HIP (Hot Isostatic Pressure - Ισοστατική Πίεση με Θερμή Ισοστάση) ενισχύει την πυκνότητα και την αντοχή στη διάβρωση.

3.Αυστηρή διασφάλιση ποιότητας

Κάθε μονωτής υφίσταταιΕπιθεώρηση 12 σταδίων, συμπεριλαμβανομένων:

•CMM (Μηχανή Μέτρησης Συντεταγμένων)επικύρωση κρίσιμων διαστάσεων.
•Δοκιμή διαρροής ηλίουγια συμβατότητα με το κενό.
•EDS (Φασματοσκοπία Ακτίνων Χ με Ενεργειακή Διασπορά)για να επαληθευτεί η καθαρότητα του υλικού.

ΜαςΣύστημα πιστοποίησης ISO 9001/14001διασφαλίζει την ιχνηλασιμότητα από την προμήθεια πρώτων υλών (που προέρχονται από προμηθευτές Tier 1 όπως η CoorsTek) έως την τελική συσκευασία.

Εφαρμογές: Όπου η ακρίβεια συναντά την απόδοση

Οι μονωτές μας είναι αξιόπιστοι σε:

•Εργαλεία χάραξης και εναπόθεσης:Στοιχεία με επικάλυψη SiC για αντοχή στο πλάσμα σε μονάδες Applied Materials™.
•Εμφυτευτές ιόντων:Καρφίτσες ανύψωσης αλουμίνας με αντιστατικές επιστρώσεις για την αποφυγή ολίσθησης των πλακιδίων.
•Συστήματα Μετρολογίας:Μονωτές χαμηλής θερμικής διαστολής για στάδια λιθογραφίας EUV.

Μελέτη περίπτωσης:Ένας κορυφαίος κατασκευαστής πρωτότυπου εξοπλισμού (OEM) ημιαγωγών μείωσε τον χρόνο διακοπής λειτουργίας των εργαλείων κατά 40% μετά τη μετάβαση στις ειδικά σχεδιασμένες κεφαλές ντους SiC, οι οποίες ξεπέρασαν σε απόδοση τα εξαρτήματα του ανταγωνισμού στην επεξεργασία πλακιδίων 300 mm.

Πέρα από την Παραγωγή: Μια Προσέγγιση Συνεργασίας

•Ταχεία Πρωτοτυποποίηση:Υποβάλετε τα αρχεία CAD σας και λάβετε λειτουργικά πρωτότυπα σε 7 ημέρες.
•Συσκευασία καθαρού δωματίου επί τόπου:Προαιρετική συναρμολόγηση καθαρού χώρου κατηγορίας 10 για άμεση ενσωμάτωση εργαλείων.
•Τεχνική Υποστήριξη εφ' όρου ζωής:Οι μηχανικοί μας παρέχουν υπηρεσίες ανάλυσης φθοράς και επανεπεξεργασίας για την παράταση του κύκλου ζωής των εξαρτημάτων.